电化学传感器是一种通过传感器与水体中相关物质发生电化学反应来定量测量的一种检测 手段，江苏金叉指电极，以电极为载体，当水体中某些粒子与电极表面 的物质发生电化学反应时，其中交流阻抗法是通过电极间的阻抗值来反映水溶液的特定物质浓度的变化，从而可以实现实时测量。目前，传感器逐步走向小型化和集成化的方向，其中叉指电***有阻抗低，快速建立稳态信号，信噪比高等优点。现有研究表明，江苏金叉指电极，叉指电极的宽度、间距和厚度都是会影响传感器灵敏度的重要参数。柔性生物电极虽然具有很好的柔韧性、弹性、能与组织紧密贴合性，江苏金叉指电极、对组织伤害小等优点，但它的强度较低。江苏金叉指电极

为***叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥***表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。江苏石英叉指电极叉指电极将生物检测具有的特异性与电化学技术的准确、快速等优点，制作出集成度高、携带方便的微型传感器。

微又指电极可用于检测不正常细胞，不正常细胞是由正常细胞变异而来，而正常细胞具有生命周期调亡，不正常细胞则会***增殖，还可以转化和转移攻击正常细胞，这也是产生病源及难点所在。常在低频段实验时发现，用100um宽间距20um，500um厚的电极实验检测 MCF-7 细胞时精度更高。不同尺寸ITO叉指电极传感器对腺人类肺泡基底上皮细胞细胞培养做阻抗测量。通过阻抗分析宽 60um、间距 20um 和宽40um、间距40um两种结构的电极发现，宽60um、间距20um的电极阻抗变化更明显，证明了电极间隙小、宽度大能够使传感器有更好的灵敏度。

加工后的芯片为划片后用金线将芯片上的焊盘和 PCB 板底座上的焊盘导通，PCB 上有和外界处理电路相连的接口。焊盘处用环氧树脂封装，避免暴露而引入噪声，同时固定腔体用于培养细胞。采用电镀铂黑的方法来提升电极比表面积，在电镀前，芯片表面用酒精和去离子水交替清洗，直至显微镜下观察到电极上无异物并呈亮金色。电镀铂黑的溶液出 1%的氯酸和0.01%的醋酸铅配制而成。以微电极为工作电极，Ag/AgCI 电极为参考电极，铂电极为对电极，恒电位工作仪产生的直流恒电压 0.01mV 为工作电压，根据电***小控制时间，直径为30um的电极所需电镀时间约为20~25s。电镀后电极位点表面早黑色棉絮状,明显增加了电极表面的粗糙程度。处理后的芯片可用纯水清洗，去除离散的铂黑微粒，浸于纯水环境中，并避光保存，避免芯片表面生长微生物而受到污染。阵列酶标板和丝网印刷电极组成的电化学***传感装置。

在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，显示了良好的生物相容性，对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。叉指电极主要为指状或梳状的面内有周期性图案。其中，激励电极和感应电极相互交错排布。河南微纳叉指电极

生物叉指电极一般分为生物电检测电极与刺激电极。江苏金叉指电极

作为人体健康的重要指标之一,葡萄糖的检测一直是研究热点。传统的葡萄糖检测主要以血液中的葡萄糖为检测对象，其优势在于待测物浓度较高，是临床诊断的金标准。但是，血糖检测的有创取样方式既会给患者带来痛苦。相比之下。组织间液中的葡萄糖检测的采集过程具有无创、连续的优点。在检测方法方面，CGM传感器多基于葡萄糖氧化酶,这种方法具有灵敏度高、选择性好的优点，但由于酶的使用易受环境温度、pH 值以及湿度等条件的影响限制了其应用。江苏金叉指电极

芯云纳米技术（苏州）有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标，有组织有体系的公司，坚持于带领员工在未来的道路上大放光明，携手共画蓝图，在江苏省等地区的电子元器件行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源，也收获了良好的用户***，为公司的发展奠定的良好的行业基础，也希望未来公司能成为行业的***，努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量，我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息，斗志昂扬的的企业精神将***芯云纳米技术供应和您一起携手步入辉煌，共创佳绩，一直以来，公司***执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，员工精诚努力，协同奋取，以品质、服务来赢得市场，我们一直在路上！