MEMS加工技术主要包括光刻、镀膜、刻蚀。光刻是将掩模板上的图形通过光刻胶转移到基底上，主要分为紫外光刻和电子束光刻两类。紫外光刻中，通常光刻胶涂布在需要被刻蚀的加工层上，掩模板直接压在光刻胶上，在紫外光曝光下，透光区和不透光区的光刻胶发生相反的反应，显***形成所需要的图形，湖南柔性叉指电极。电子束光刻中无需光刻板，避免了光散射的缺点，能提高光刻的精度，通常在 10nm 以上，高于紫外光刻微米级的精度，湖南柔性叉指电极。镀膜是将材料沉积在基底上，通常沉膜的方法因材料而异，湖南柔性叉指电极。在硅工艺中，硅化合物采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)或热生长。金属薄膜在 MEMS中常用作传感电极，采用溅射或蒸发将粘附层和工作层金属均匀一致地沉积于基底上。微间距叉指阵列电极为基础电极，结合酶的生物催化银沉积反应来放大分析信号。湖南柔性叉指电极

平面叉指电极传感器是一种低成本、小型化，在线式且适合集成的用于无机物离子检测的传感器，采用浸入式检测方式。根据阻抗特性可以将叉指电极传感器划分为 3种类型，第 1 种类型为电感类型，具有电感特性的传感器通常被用作导电性和磁性材料完整性的无损检测。第 2 种类型是电容类型，通常表现为叉指状电极，这种传感器的应用包括纸浆水分含量的测量，特定细菌检测，人体皮肤表面含水量测量，化学传感器，食品安全检验等。第 3 种类型是电感性和电容性结构的结合，也可被分类为可远程操作的无源传感器，比如用于土木工程材料、含水量的实时监测。湖北叉指电极生产生物传感器领域内，衬底材料主流发展方向之一。

基于生物电信号存在的测量难点，故对医用叉指生物电极的性能提出了相应的需求：1）由于生物电具有频率低甚至接近直流的特点，所以生物医用电极一般要求具有良好的导电性能；2）电极电位稳定，极化电位小，电位波动小；3）电极自身阻抗值小；4）不易产生运动伪迹；5）安放简易且不易脱落；6）***无害，对人体刺激小等。目前常用的电极包括有，标准氢电极、饱和甘汞电极、Cu/CuSO4 电极以及Pb/PbCl2 电极等，但它们自身的特性和缺陷以及应用范围不尽相同。

高分子材料、单独的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的复合层常作为钝化层的可选材料。光刻胶和聚酷亚胺是光敏感的材料，能够在紫外光曝光下形成掩模板所设计的图形，以暴露金属电极位点。这些材料具有较低的介电常数(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下，高分子材料的钝化层厚达几微米，容易受到化学腐蚀，清洗的时候容易碎裂，减短芯片的寿命。硅化合物采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)方法沉积在已经形成电极,引线图形的金属层上，并采用刻蚀的方法将金属电极位点暴露。SiO2/Si3N4都具有绝缘特性，其介电常数分别为7.5 和3.9。在金属-氧化硅-硅的结构中SiO2不能有效地阻止离子的通过，因此较少单独用来做钝化层。SiO2/Si3N4/ SiO2的复合层结合了 Si02的绝缘性和Si3N4阻止离子通过的特性，是钟化层的较好的选择。单独的Si3N4则简化了加工的过程，但需加厚。在本实验工作中，采用单独的Si3N4钝化层，厚度为800-1000nm，能达到良好的绝缘作用。柔性叉指电***有可弯折、可延展等特性，可以模仿皮肤。

三电极微针阵列血糖浓度传感器属于一种酶生物传感器，将生物酶和电极相结合来测定酶底物的浓度，随着世界上首支葡萄糖氧化酶电极被研制出，学术界开始重视酶生物传感器的研究并取得了迅速发展。酶生物传感器以酶作为生物敏感基件，可以根据各种化学或物理信号转换系统，计量得出目标测量物与酶反应产生的与目标测量测量浓度成比例关系的某种形式的信号，从而根据反应所测得的信号实现对目标物进行定量检测的目的。相较于其他类型的生物传感器，这种酶固化方法将酶直接固定在金属或半导体电极的表面形成固化膜，由于酶具有专属反应特性，有着很高的选择性，同时具有不溶性酶的优点和电化学电极的灵敏度。Si 基 Pt 薄膜生物叉指电***有耐腐蚀性和生物相容性。湖北叉指电极生产

叉指电极导电层需采用物理方法制备，主要包括蒸镀、磁控溅射、丝网印刷、喷墨打印。湖南柔性叉指电极

柔性叉指电极使用过程中会发生弯曲或折叠，可使电场分布发生变化，相邻叉指电极的电容值与弯曲或折叠角度相关。叉指电极的电容值和灵敏度随着弯曲或折叠的角度增大而降低。柔性电极的基体有***的硬度和杨氏模量，拥有很好的回弹性，同时根据不同的应用场景，对热稳定性、渗透性、透光性、附着性和防水性等也有不同程度的要求。柔性电极多采用聚合物作为其柔性衬底，常见的聚合物包括聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚酰亚胺（PI）和聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，但 PET、PEN、PI 等常见的高分子塑料衬底只有可弯曲性而缺乏拉伸性，考虑到开发具有优异拉伸性的弹性衬底也是非常有必要的。因此，其他材料比如聚二甲基硅氧烷（PDMS）、热塑性聚氨酯（TPU）、脂肪族芳香族无规共聚酯（Ecoflex）和聚合物水凝胶等，都是具有低弹性模量和高可拉伸性的衬底材料。湖南柔性叉指电极

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