Shibata T,Yamanaka S利用深度反应离子蚀刻的冲孔效应,制造出具有半球形顶部的中空 SiO2 微针的半球阵列,但是此方法生物相容性不好,还需要进一步验证SiO2微针的力学性能。Hasegawa Y, Yasuda Y对单晶硅进行微加工,使其具有小曲率半径,然 后利用各向异性湿法蚀刻制造了一种硅微针，浙江空心微针价格,通过该微针在金属板上形成压痕，浙江空心微针价格,成功制造出了针尖高度高，浙江空心微针价格、密度大的微针阵列。岳瑞峰等人采用微加工技术批量制造出高度和阵列密度分别为 140μm 和 730cm的硅基实心微针阵列,并通过体外、体内实验研究了其对透皮给药的影响。生物医学和MEMS的发展推动了微针在***传输与分析等相关领域的应用。浙江空心微针价格

微针是针尖的直径为几十到几百纳米, 高度在30um以上的针状结构。微针在生物医学领域有比较广泛的应用。采用微针阵列给药或者采样, 不仅具有微量、无痛的特点, 而且可以使生化检验的精度、可靠性和效率大幅度提高。微针和MEMS中的微流体、微分析系统相结合, 可以实现生化检测分析的微型化和集成化。有关微针的制备方法和应用研究的报道越来越多, 随着近年来相关研究的进一步深入, 又有一些新型的微针制备方法被陆续开发, 尤其在应用研究方面取得了长足进步。浙江低晶微针加工制造基于MEMS微针的微系统会在医学领域获得广泛应用。

由于硅加工技术的快速发展，早期微针的加工技术研究更多地围绕硅材料展开。MEMS微针是直径为几十微米、长度在100μm以上的针状结构。因为微针的尺寸小，在刺入皮肤中不易触及痛觉神经而产生痛疼感，因此用这种MEMS微针来给药具有无痛、可以自我给药操作的技术优势。由于微针需要具有良好的力学性能和生物相容性才能满足其应用的安全性要求，所以微针的选材、结构设计及其相应的制备技术直接关系到微针的功效。MEMS微针从问世以来由于其显而易见的技术优势引起了研究人员的关注。

目前，文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括：单晶硅、金属（钛、镍、不锈钢）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微针用于脑机接口系统。虽然干电极的制作材料多种多样，其基材的选择主要考虑以下几个因素：1）材料的生物相容性；2）微针阵列的机械强度；3）材料加工工艺的复杂度及工艺成本。微针既需要有足够的机械强度穿透皮肤，又需要制造微针的材料有一定的安全性。

除了硅、金属以及聚合物等材料之外, 还有很多材料也可用于微针的制备,如陶瓷、玻璃和智能纳米材料等。陶瓷微针是以陶瓷浆料为原料，利用模板铸造，使用烧结法制备,也可以采用双光子聚合法制备。玻璃微针多为空心结构,采用改良后的传统玻璃微管拉制技术制得,在给药和组织液提取方面都有着广泛的应用。但与陶瓷或玻璃等材料相比,利用高分子材料制备的微针具有很多优势,如生物相容性好、原料易得、不易断裂以及适宜批量化生产,因此聚合物微针逐渐成为微针制造的主材料。利用硅的各向异性可以制作实心微针。江苏美容微针设计

微针需要穿透皮肤的角质层才能有效果。浙江空心微针价格

心电图可记录心脏的电活动过程,它对心脏基本功能及其病理研究方面具有重要的参考价值。传统的生物电势电极是由Ag/AgCl制作而成的, 这种电极有很多缺点: 1) 需要皮肤准备。 2)使用电解凝胶很不方便,会给人体带来不适感。 3)一次性,不能重复使用。基于微针阵列的微电极可刺穿皮肤的角质层, 这样就避开了皮肤角质层高阻抗的特性,与传统电势电极相比,不需要皮肤准备和电解凝胶,使用方便,有利于长期测量使用。 L.M.Yu利用空心硅微针制作出了用于心电图测试的电极。这种电极能获得高信噪比的信号,而且使用方便,对人体没有什么副作用,比较适合老年人在家使用。浙江空心微针价格