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河北叉指电极研发 芯云纳米技术供应

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叉指电极是一种可以在阻抗传感器中作为信号转换器的电极形式,其检测时,首先将电极连入电化学工作站来获得分布在其周边的电场,由于细菌等待测物可与电极表面的抗体等目标受体发生特异性反应,引起周围电场变化,河北叉指电极研发,因而可以通过电化学阳抗谱技术检测到其表面发生的阻抗变化,从而进一是检测出待测微生物的浓度。基于金层的叉指电极的检测牛奶中体细胞数的阻抗生物传感器,其不仅能够正确区分出的不同浓度的试验奶样,而且还得出了其传感器等效电路中常相位角元件阻值与其检测的牛奶中体细胞数具有较好线性关系的结论,河北叉指电极研发。叉指电极包括基底和电极两部分,河北叉指电极研发,基底材料一般选用硅、石英或玻璃等半导体材料。河北叉指电极研发

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平面叉指电极传感器是一种低成本、小型化,在线式且适合集成的用于无机物离子检测的传感器,采用浸入式检测方式。根据阻抗特性可以将叉指电极传感器划分为 3种类型,第 1 种类型为电感类型,具有电感特性的传感器通常被用作导电性和磁性材料完整性的无损检测。第 2 种类型是电容类型,通常表现为叉指状电极,这种传感器的应用包括纸浆水分含量的测量,特定细菌检测,人体皮肤表面含水量测量,化学传感器,食品安全检验等。第 3 种类型是电感性和电容性结构的结合,也可被分类为可远程操作的无源传感器,比如用于土木工程材料、含水量的实时监测。天津三共面叉指电极叉指电极是一种能对目标物质进行定量或半定量分析的集成设备。

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在微加工工艺中,主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料,具有良好的导电性能,作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应,对光敏感在检测中,光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路,增加信号的噪声幅度。在实验中发现,此噪声幅度可达几十到几百微伏,因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅,玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性,具有成熟的加工工艺,在生物实验中便于采用倒置显微镜观察,被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本,聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性,耐高温,灵活的可塑性,显示了良好的生物相容性,对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中,也尝试采用PCB板加工MEA芯片,然而工艺中电极精度受到限制,电极尺寸限于80um,远远低于微加工工艺的芯片加工精度。

PET 是目***种流行的塑料树脂,也是商业上常用的聚酯类型。PET 也具有很多优异的化学和物理性能,比如优异的机械性能、低扩散性等。PET 作为衬底材料,具有透明度高、耐化学性好、抗冲击性强的的特点。同时,PET 内具有低模量的合成纤维,其性能接近于其他聚合物,例如聚乙烯、尼龙和聚酯。PI 作为常用的柔性材料之一,具有优异的物理化学性能。比如热稳定性、机械性能、高击穿强度、绝缘性。集成在 PI 网络上的可拉伸和可扩展结构,能够将电子皮肤传感功能扩展到多功能传感,包括温度、湿度、光和压力等。Si 基 Pt 薄膜生物叉指电***有耐腐蚀性和生物相容性。

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高分子材料、单独的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的复合层常作为钝化层的可选材料。光刻胶和聚酷亚胺是光敏感的材料,能够在紫外光曝光下形成掩模板所设计的图形,以暴露金属电极位点。这些材料具有较低的介电常数(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下,高分子材料的钝化层厚达几微米,容易受到化学腐蚀,清洗的时候容易碎裂,减短芯片的寿命。硅化合物采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)方法沉积在已经形成电极,引线图形的金属层上,并采用刻蚀的方法将金属电极位点暴露。SiO2/Si3N4都具有绝缘特性,其介电常数分别为7.5 和3.9。在金属-氧化硅-硅的结构中SiO2不能有效地阻止离子的通过,因此较少单独用来做钝化层。SiO2/Si3N4/ SiO2的复合层结合了 Si02的绝缘性和Si3N4阻止离子通过的特性,是钟化层的较好的选择。单独的Si3N4则简化了加工的过程,但需加厚。在本实验工作中,采用单独的Si3N4钝化层,厚度为800-1000nm,能达到良好的绝缘作用。柔性生物电极的研究主要包括电阻式的柔性生物电极和电容式的柔性生物电极。河北叉指电极研发

柔性叉指电极基底通常为高分子材料,具有良好的延展性和灵敏度。河北叉指电极研发

基于生物电信号存在的测量难点,故对医用叉指生物电极的性能提出了相应的需求:1)由于生物电具有频率低甚至接近直流的特点,所以生物医用电极一般要求具有良好的导电性能;2)电极电位稳定,极化电位小,电位波动小;3)电极自身阻抗值小;4)不易产生运动伪迹;5)安放简易且不易脱落;6)***无害,对人体刺激小等。目前常用的电极包括有,标准氢电极、饱和甘汞电极、Cu/CuSO4 电极以及Pb/PbCl2 电极等,但它们自身的特性和缺陷以及应用范围不尽相同。河北叉指电极研发

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